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原子力顯微鏡(平板掃描式) WY- LSCL-AFM

原子力顯微鏡(平板掃描式) WY- LSCL-AFM
◆性能特點(diǎn):實(shí)現探針和樣品組合式移動(dòng)掃描的商業(yè)化原子力顯微鏡。國內頭家采用三軸獨立閉環(huán)壓電平移式掃描臺,實(shí)現大范圍高精度掃描。三軸獨立式掃描,XYZ互不影響,非常適合三維材料及形貌檢測。電動(dòng)控制樣品移動(dòng)臺和升降臺,可任意編程多點(diǎn)位置實(shí)現快速自動(dòng)化檢測。龍門(mén)架式掃描頭設計,大理石底座,真空吸附和磁
服務(wù)熱線(xiàn): 4001-123-022
  • ◆性能特點(diǎn):
    實(shí)現探針和樣品組合式移動(dòng)掃描的商業(yè)化原子力顯微鏡。

    采用三軸獨立閉環(huán)壓電平移式掃描臺,實(shí)現大范圍高精度掃描。

    三軸獨立式掃描,XYZ互不影響,非常適合三維材料及形貌檢測。

    電動(dòng)控制樣品移動(dòng)臺和升降臺,可任意編程多點(diǎn)位置實(shí)現快速自動(dòng)化檢測。

    龍門(mén)架式掃描頭設計,大理石底座,真空吸附和磁性吸附式載物臺。
    馬達自動(dòng)控制加壓電陶瓷自動(dòng)探測的智能進(jìn)針?lè )绞?,保護探針及樣品。
    高倍輔助光學(xué)顯微定位,實(shí)時(shí)觀(guān)測與定位探針以及樣品掃描區域。

    閉環(huán)壓電掃描臺無(wú)需非線(xiàn)性校正,納米表征和測量精度優(yōu)于99.5%。


     ◆測量范圍及應用:

    測量范圍:二維、三維、Z值、相位、表面形貌、粗糙度、膜厚、形貌、相位。

    應用:納米材料、石墨烯、薄膜、鈍化膜、短切玻纖復材、分子篩、TiO2、CrPS4(15)、CrPS4(16)、中空纖維膜絲、粗糙度測試、四氧化三鐵、M13-PBA等。



    ◆ 應用案例 Application Case


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  • 序號

    名稱(chēng)

    技術(shù)參數

    01

    工作模式

    接觸模式、輕敲模式

    02

    選配模式

    摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力/靜電力

    03

    力譜曲線(xiàn)

    F-Z力曲線(xiàn)、RMS-Z曲線(xiàn)

    04

    XY掃描方式

    樣品驅動(dòng)式掃描,閉環(huán)壓電平移式掃描臺

    05

    Z掃描方式

    探針驅動(dòng)式掃描

    06

    XY掃描范圍

    閉環(huán)100×100um

    07

    Z掃描范圍

    10um

    08

    掃描分辨率

    閉環(huán)XY0.5nm,Z0.05nm

    09

    XY樣品臺

    步進(jìn)電機驅動(dòng)控制,移動(dòng)精度1um

    10

    XY移動(dòng)行程

    100×100mm(可選200×200mm,300×300mm

    11

    樣品載物臺

    直徑100mm(可選200mm,300mm

    12

    樣品重量

    0.5Kg

    13

    Z升降臺

    步進(jìn)電機驅動(dòng)控制,*小步長(cháng)10nm

    14

    Z升降行程

    15mm(可選20mm,25mm

    15

    光學(xué)定位

    10X光學(xué)物鏡

    16

    攝像頭

    500萬(wàn)像素數字CMOS

    17

    掃描速率

    0.6Hz~30Hz

    18

    掃描角度

    0~360°

    19

    運行環(huán)境

    Windows XP/7/8/10操作系統

    20

    通信接口

    USB2.0/3.0

    21

    儀器結構

    龍門(mén)架式掃描頭,大理石底座

    22

    減震方式

    氣浮式減震臺+金屬屏蔽隔音箱(可選主動(dòng)式減震臺)


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